使用激光干涉仪时的注意事项 激光干涉仪使用方法

　　【*** 使用手册】激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用激光的高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点和迈克耳逊干涉系统来测量位移的通用长度测量仪器，主要分为单频的和双频两种。　　使用试验方法：目前用于测量长度的干涉仪，主要以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可以配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。　　注意事项：　　1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。　　2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。　　3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。　　4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学方法进行清洁，严禁丙酮擦拭。　　5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。　　6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。　　7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。　　8、不用设备时需将激光器出光口前盖，旋转90度，防止外部粉尘进入激光头内部。　　9、对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动。　　10、仪器不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。 有关激光干涉仪的操作及应用如何？

高精度激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

该仪器的基本操作：

1、开机：接通电源打开电源开关，1分钟后开始检测；

2、光路调整：旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点，显示器上显示完整的圆形图像；

3、透镜面形检测：调节沉座到被检透镜的适合尺寸，放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合，观测显示器是否出现干涉条纹，条纹越少精度越高；

4、透镜曲率半径检测：开启标尺电源开关（清零），调整图像到看清直线干涉条纹(3条到5条），凸透镜向上调节高度（凹透镜向下调节高度）到第2个星点出现的时候调节标准镜头调节旋钮，使图像出现猫眼像，标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。

应用

（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。

（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可**限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到***佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

（3）数控转台分度精度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的****已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。

（4）双轴定位精度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。

（5）数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等。

激光干涉仪为机床检定提供了一种高精度仪器，它精度高，达到±1.1PPM（在0～40℃下），测量范围大（线性测长40m，任选80m），测量速度快（60m/min），分辨率高（0.001μm），便携性好。由于激光干涉仪具有自动线性误差补偿功能，可方便恢复机床精度，更受到用户欢迎！