小型蒸馏水机是以去离子水为原料水，用蒸汽加热的蒸馏水生产设备。该设备所生产的蒸馏水水质稳定，纯度高，无热原。是目前应用的注射用水制备系统的关键设备。多效蒸馏水机采用高温高压操作，确保稳定生产无热源注射用水。
它可分一次和多次蒸馏水。水经过一次蒸馏，不挥发的组分残留在容器中被除去，挥发的组分进入蒸馏水的初始馏分中，通常只收集馏分的中间部分，约占60%。要得到更纯的水，可在一次蒸馏水中加入碱性高锰酸钾溶液，除去有机物和二氧化碳；加入非挥发性的酸，使氨成为不挥发的铵盐。由于玻璃中含有少量能溶于水的组分，因此进行二次或多次蒸馏时，要使用石英蒸馏器皿，才能得到很纯的水，所得纯水应保存在石英或银制容器内。
小型蒸馏水机的清洗方法分析：
多效蒸馏水机中产生的水垢主要有两种，一种是锅炉水垢，另一种是二氧化硅水垢，清洗时应采用不同的清洗剂：
1、对锅炉水垢，可用氨基磺酸(NH2SO2OH)，使用时用去离子水配制成浓度为1%的清洗溶液，其PH值在所1~2之间，并加热到60℃左右。也可用磷酸(H3PO4)，使用时用去离子水配制成2%浓度的清洗溶液，并加热到65℃左右
2、对二氧化硅水垢，可采用二氟化铵(NH4HF2)，使用时用去离子水配制成浓度为1.5%的溶液，并加热到50℃~60℃。也可采有用氢氧化钠+阴离子活性剂，配制成浓度为10%的清洗液，并加热到60℃左右。在化学清洗方法去除上述两种水垢时，多效蒸馏水机不少用户还采用市售的通用型不锈钢清洗剂，效果不错，使用也较方便。在使用酸性溶液清洗以后，一般还要求使用中和溶液进行中和。中和溶液的配制方法如下：在去离子水中加入0.5%的小苏打(HaHCO3)和0.1%阴离子界面活性剂。
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