质谱真空泵的日常维护步骤及使用方法

　　【***** 维修保养】质谱真空泵必须由接受过适当培训的技术员来维护，确认该技术员对泵油及系统的产物**熟悉，做维护之前必须将泵停下，降到**的温度，断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外。维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向。O型圈和垫圈如果损坏不可重复利用。　　在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害，维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封。不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂。　　检查前置真空泵油位　　根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。　　1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在低限以上，高限以下。　　2.如果油位在低限或低于低限，打开加油孔，加油至高限，如加得过满可从出口放掉点。　　3.如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。　　更换前置真空泵油　　1.开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来)。　　2.断开泵和电路及真空系统的连接。　　3.取下加油孔的塞子。　　4.将泵放在一个适当的支撑物(如：凳子)上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中。　　5.油受到污染时：　　(1)取下加油孔的塞子，倒进干净的油。　　(2)重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。　　(3)断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。　　(4)重复上述步骤直到将泵清洗干净。　　6.塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。　　7.装上新油，直到油位达到MAX位置附近。　　8.等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。　　检查和清洁前置真空泵入口过滤器　　1.旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。　　2.用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。　　3.重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。　　清洁前置真空泵载气滤网　　1.取下固定垫圈。　　2.取下金属丝网及滤头元件。　　3.用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上。　　4.重新固定好固定垫圈。　　清洗马达风扇周围　　1.关掉真空泵，断开其与电源的连接。　　2.利用干的布或毛刷**电动机的风扇罩和围栏的污染物。　　注意:　　如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。 真空泵使用时应注意事项

　　用户在使用真空干燥箱的时候都要配套真空泵来使用，真空泵使用时应注意以下事项：

　　1．查看油位，以停泵时注油至油标**为宜。过低对排气阀不能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。油采

　　用规定牌号的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。

　　2．泵可在通大气或**真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。

　　3．环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。

　　4．检查泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大，只能作参考。

　　5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。

　　6．用油选择：泵油的粘度影响起动功率和泵的极限真空，粘度高时对真空度有利，起动功率则大一些。油在泵温下的饱和蒸汽压则会影响泵的极限总压强，越低越好。高速真空泵油和3#扩散泵油的粘度较1号真空泵油大，饱和蒸汽压较1号真空泵油低，但3#扩散泵油价格较高。具体选什么油，可根据上述介绍结合具体使用要求来选择。

　　(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小泵也可用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散泵油代。

　　(2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁，真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。

　　(3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不高，可采用粘度较上略低的真宅泵油或机械油。